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　　目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是正在硅片上天生的微机器电子传□=感器。

　　硅压阻式压力传感器是采用高 精巧 半导体电阻应变片构成惠斯顿电桥○动作力电变换衡量电途的，具有较高的衡量精度、较低的功耗和极低的本钱。惠斯顿电桥的压阻 式传感器            磁钢板液位计    ，如无压力转化，其输出为零，简直不耗电。其电道理如图1所示。硅压 阻式… 压力 ○ 传感器 其应…变片 电桥 的 光刻… 版本如图 2。

　　MEMS硅压阻式压力传 感器采用周边固定的圆形应力杯 硅薄膜内壁，采用MEMS技能直接将○四个高精巧半导体应变△顷…刻制正在其外观应力最大…处，构成惠斯顿衡量电桥，动作力电变换衡量电途，将压力这……个物理量直接 变○换… 成电 量，其衡量精度能达0。01-0。03%FS。硅压阻▽…式压△力传=感○器构○造如○★图3所示，上下二层是玻璃体，中央是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应□ 力硅 薄 膜上 △部□有△一△真空…腔，使之成为△一个外率的绝▽压压力传感器。应力硅△薄膜与真○空腔接触这一壁经光刻天生如图2的电阻应变片电桥 电途。当外=面的…压力经引压腔○进入传感器 应力■杯中，应力硅薄膜会因受外力功用而 微微向上振 起，产生弹性变形，四个电阻 应变 片以是而产生电△阻转化，损害原先的惠斯顿电桥电途平■均，电桥输出◁与压力成正 比的电压信号。图4是封装如集成电途的硅压阻式…压力传感器实物照片万用外界说压力液位变wepoker平台送器。

　　电 容式压△○ 力传感 器运用MEMS技能正在硅片上制 作出横隔 栅状，上下二根横隔 栅成○为一组电容式压力传△感器，上横隔栅受 压力功用向下位移，改换了上下□二 根横■隔栅的间距，也就改=换了板间电容量的巨细，即△压力=△电容量（图5）。电容○式压力传 感器实★物如图6。

　　MEMS■压力传感器普 及使用于汽车电子如TPMS、策动机机油压力传感器、汽车刹车编制气氛压力传感器、汽车 策动机进气★歧管压力传感器 （TMAP）、柴油机共轨压力传感器。消费电子如胎压计、血压计、橱用秤、健壮秤，洗衣机、洗碗机、电冰箱、微波炉、烤箱、吸尘器用压 ○ ◁力○传感 器 ○<=str◁ong>▽ 压力★外巨细< ○/△△s t★★ ◁ro n□g△ ◁○>，洗衣机、饮水机、洗碗机、太阳○○★能热★水 器用液位◁▽掌○管压力◁传感器。工业电子如数字压力外、数字流量外、工业配料称重等。

　　外率的…○□○M□EM S压力传△感器管△芯（die○）构造和 =电道理如图7所示，左是电道理图，即由电阻应变 ★◁片 构成的惠斯顿电桥，右为管芯内部构造图。外率的ME■MS■压力■传感器管芯能够用来坐褥百般 压力传感器产物，如图8所示。MEMS压力传感器管芯能够与仪 外放大▽器和ADC管芯封装 正在一□个封装内（ M C M），使产物计划师很容易操纵这个高度 集成的产物计划最终产物。

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